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更新時間:2026-04-16
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某半導體封裝工廠在投入生產前,需對晶圓進行純水高壓噴霧清洗。
現狀A(易清洗): 晶圓表面覆蓋有聚酰亞胺材質的“鈍化層"(Passivation),此處微粒容易去除,且耐受高壓。
現狀B(難清洗): 在TEG(測試素子群)或引線鍵合焊盤(Bonding Pad)等未覆蓋鈍化層的開口部,微粒一旦附著,極難剝離。
客戶急需提升清洗力,但提出了一個硬性限制:絕對不能改變現有的壓力、流量及噴嘴安裝高度。

面對這一嚴苛要求,常規的增加水壓或調整設備高度方案被否決。我們的技術團隊經過現場評估,決定從“流體角度"入手,選用了霧之池內 VP系列(扇形噴嘴)。
優化邏輯:
現狀分析: 客戶原使用噴嘴的噴霧角度為 40°。
技術策略: 在不改變壓力、流量和距離的前提下,噴霧角度越小,液滴撞擊表面的打擊力(Impact Force)越大。
產品選擇: 我們為客戶選用了VP系列中的更窄角度型號。該系列噴嘴的核心優勢在于其噴孔部位采用了耐磨陶瓷(Ceramic)材質,這為后續的長期運行打下了基礎。

這次方案的成功,離不開VP系列產品的兩大核心特性:
精準的打擊力控制: 通過將噴霧角度由40°調整為更窄的角度,我們在不改動設備硬件的情況下,顯著提升了噴霧粒子對晶圓表面的沖擊力,從而有效剝離了開口部的頑固微粒。
卓的越的耐磨損性: 半導體清洗通常使用高純度純水,長期高壓沖刷對噴嘴材質要求極的高。VP系列的陶瓷噴孔具有極的佳的耐摩耗性,確保了噴嘴孔徑在長期使用中不變形,既保證了清洗效果的穩定性,又實現了產品的長壽命化。
該方案實施后,取得了立的竿的見的影的效果:
清洗效果: 清洗測試結果顯示,原本難以去除的開口部微粒被高效清除,良率風險大幅降低。
設備壽命: 陶瓷材質的耐用性獲得了客戶的高度評價,減少了頻繁更換噴嘴的維護成本。
項目進展: 目前,該清洗方案已通過驗證,正處于即將搭載于量產設備的關鍵階段。
這個案例證明了,在半導體精密制造領域,選對噴嘴型號往往比盲目增加設備功率更有效。