咨詢電話
13691609757
products
產品分類
更新時間：2026-01-06 
瀏覽次數：53在半導體制造、液晶面板生產等精密工業領域，對清洗工序中使用的超純水（Ultrapure Water）溫度控制有著極的高的要求。Rexxam 公司推出的 RHDIW150A 超純水加熱單元，憑借其獨特的加熱技術和高潔凈設計，成為滿足這些嚴苛環境需求的專業解決方案。
該設備的核心在于采用了高效率石墨加熱管作為熱源。與傳統的鹵素加熱管相比，石墨加熱管在熱效率上具有顯著優勢，能夠有效降低能耗，實現更經濟的運行成本。
除了節能特性外，該加熱單元還具備極的高的穩定性。其電阻值在長期使用中保持穩定，這直接延長了加熱器的使用壽命，減少了設備維護和更換的頻率。
為了確保液體的純凈度，設備還提供了高精度過濾器作為選配功能。這一設計能夠有效過濾液體中的微細粒子，防止雜質污染，滿足高潔凈度制程的要求。
RHDIW150A 型號在設計上兼顧了大流量與高精度溫控。以下是該設備的主要技術參數：
液體種類：專為超純水設計。
溫度控制：設定范圍覆蓋 25℃～85℃，溫控精度極的高，可控制在設定溫度 ±1℃ 以內。
流量與壓力：標準藥液流量為 38L/min，壓力損失控制在 0.027MPa以下，確保流體輸送的穩定性。
加熱能力：配備 147kw 的石墨加熱管，提供強勁的加熱動力。
材質與構造：與純水接觸的部位均采用 石英 和 氟樹脂，這兩種材質具有優異的耐腐蝕性和低析出特性，保證了水質的純凈。
外形尺寸與電源：設備尺寸為 1010(W)×1260(D)×2120(H) mm，重量為 520kg。電源支持三相 AC220V～480V ±10%。
憑借其精密的溫控能力和高潔凈特性，Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元主要應用于以下高的端制造工序：
半導體清洗工序：在芯片制造過程中，對晶圓進行高潔凈度的清洗。
液晶清洗工序：用于液晶面板生產中的清洗環節。
藥液稀釋加熱：適用于需要精確溫度控制的藥液處理過程。
Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元通過采用石墨加熱技術，在提升熱效率和延長設備壽命方面表現出色。其 ±1℃ 的溫控精度和選配的高精度過濾系統，使其成為半導體、液晶等尖的端產業中不可的或缺的溫控設備，能夠有效保障生產工藝的穩定性和產品的良率。
您的位置：
在線咨詢
返回頂部